UMDC-真空負壓底盤
說明
* 平面度:0.01mm / 平行度:0.01mm
* 使用方法:真空產生器
特點
* 尺寸: 4、6、8、12吋
* 材質: 不鏽鋼、花崗岩、陶瓷、鋁
* 花崗岩基座
* 非真空狀態下使用
* 可在鏤空狀態下使用
* 利於平行/平面度加工
* 利於軟性材料加工
* 多個並接使用
* 可提供方形、圓形形狀
保養方式
* 開啟負壓,將100ml清水倒人底盤,使清水進入氣管
* 正壓開啟將氣管中清水吹出,用氣槍將盤面的水吹移
半導體產業應用
* 晶圓傳送 / 晶圓切割 / 雷射切割 / 晶圓研磨 / 晶圓清洗
尺寸、材質、厚度等. 皆可來電與我們詢問 !
可客製化,歡迎提供圖面 !